Ключевые слова: КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, МАГНЕТРОННОЕ НАНЕСЕНИЕ, ПОКРЫТИЕ

Аннотация

Представлена методика выбора оптимальной компоновки технологической системы вакуумной установки магнетронного нанесения покрытий на изделия сложной формы. Для расчета скорости осаждения на участки поверхности изделия и оценки равномерности толщины покрытия на деталях использовалась разработанная авторами программа моделирования процесса магнетронного нанесения покрытий «TFDepositionR». В качестве примера приведены результаты моделирования для деталей с внешней и внутренней резьбовой поверхностью. Выбор оптимальной компоновки осуществлялся на основе таких критериев, как обеспечение требуемых скорости осаждения и равномерности покрытия.

Keywords: COMPUTER SIMULATION, MAGNETRON SPUTTERING, COATING

Abstract

A method for calculating the optimal geometric parameters of a vacuum technological system for the coatings magnetron deposition of products of complex shape is presented. To calculate the deposition rates and coating thickness uniformity on parts, was used the “TFDepositionR” program for simulating the magnetron coating process developed by the authors. Simulation results are presented for parts with external and internal threaded surfaces. The selection of the optimal layout was carried out based on criteria such as ensuring the required deposition rate and thickness uniformity.