Ключевые слова: ЭЛЕКТРОННО-ПУЧКОВАЯ ПЛАЗМА, ГИБРИДНАЯ ПЛАЗМА, ПОЛИМЕРНЫЕ ПОКРЫТИЯ, ПОЛИСИЛАЗАН

Аннотация

Исследована возможность получения и модификации органических и неорганических полимерных покрытий в электронно-пучковой и гибридной плазме: разработаны методики осаждения полиэтилена и углерода на субстраты различной формы (плоские пластины и мелкодисперсные порошки), а также плазменно-стимулированной полимеризации пергидрополисилазана на поверхности подложек из полиэтилентерефталата и полиметилметакрилата.

Keywords: ELECTRON-BEAM PLASMA, HYBRID PLASMA, POLYMERIC COATINGS, POLYSILAZANE

Abstract

The possibility of obtaining and modification of organic and inorganic polymer coatings in electron-beam and hybrid plasmas were studied: methods were developed for the deposition of polyethylene and carbon on substrates of various shapes (flat plates and fine powders), as well as plasma-stimulated polymerization of perhydropolysilazane on the surface of polyethylene terephthalate and polymethyl methacrylate substrates.