Ключевые слова: островковые пленки, тонкопленочные покрытия, многослойные островковые структуры, датчики полей, магнитные датчики, металлические тонкие пленки

Аннотация

В работе представлены результаты исследований влияния режимов нанесения островковых тонких пленок кобальта методом термического испарения. Приведены графические зависимости туннельного тока от времени нанесения. Представлено время формирования при различных значениях тока на блоке питания модуля термического испарения. Описаны физические процессы, происходящие на разных этапах формирования покрытий.

Keywords: islet films, thin-film coatings, multilayer islet structures, field sensors, magnetic sensors, metal thin films

Abstract

The paper presents the results of studies of the influence of the modes of deposition of insular thin films of cobalt by thermal evaporation. Graphical dependences of the tunnel current on the application time are given. The time of formation at different values of the current on the power supply of the thermal evaporation module is presented. Physical processes occurring at different stages of coating formation are described.