Исследование структуры поверхности оксида алюминия после обработки в плазме
Мальцев В.С., Сидорова С.В.
Ключевые слова: плазма, оксид алюминия, рентгенограмма, аргон, кислород, шероховатость
Аннотация
В данной работе приведены результаты по исследованию влияния плазменной обработки на структуру оксида алюминия. Приведены рентгенограммы, подтверждающие изменение структуры оксида под действием ионов кислорода. Объяснено влияние добавления кислорода в газовую смесь на шероховатость поверхности оксида при плазменной обработке Al2O3.Investigation of aluminum oxide surface structure after plasma treatment
Maltsev V.S., Sidorova S.V.
Keywords: plasma, aluminum oxide, x-ray, argon, oxygen, roughness