Эффективность работы вакуумного оборудования с электронно-лучевыми испарителями
Одиноков В.В.
Ключевые слова: ВАКУУМНОЕ КЛАСТЕРНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ; КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ; ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ, МЕТАЛЛИЗАЦИЯ.
Аннотация
Исследована эффективность работы серийно выпускаемой установки с электронно-лучевым испарителем (ЭЛИ) периодического действия и новой вакуумной установки с ЭЛИ полунепрерывного действия. Проанализировано, что на новой установке цикловая производительность выше даже при загрузке меньшего количество подложек на групповой подложкодержатель, при этом существенно повышается выход годных интегральных микросхем.Efficiency operation of vacuum equipment with electron-beam evaporators
Odinokov V.V.
Keywords: VACUUM CLUSTER EQUIPMENT; SILICON WAFERS; ELECTRON BEAM EVAPORATOR, METALLIZATION.