Ключевые слова: ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД, ПЛАЗМЕННАЯ ОЧИСТКА, АНОДНО-РЕЗОНАТОРНАЯ СИСТЕМА, МИКРОЗАУСЕНЦЫ

Аннотация

Основной задачей данной работы является поиск оптимальных условий инициирования и поддержания в рабочей камере тлеющего разряда, зависящего от множества факторов, таких как состав и концентрация рабочего газа, глубина вакуума в камере, конфигурация обрабатываемых деталей, разность потенциалов между электродами, длительность обработки и др. Оценка степени загрязненности детали проводилась с помощью растровой электронной микроскопии (РЭМ).

Keywords: GLOW DISCHARGE, PLASMA CLEANING, ANODE-RESONATOR SYSTEM, MICRO BURRS

Abstract

The main objective of this work is to find the optimal conditions for initiating and maintaining a glow discharge in the working chamber, which depends on many factors, such as the composition and concentration of the working gas, the depth of the vacuum in the chamber, the configuration of the parts being processed, the potential difference between the electrodes, the duration of the processing, etc. The degree of contamination of the part was assessed using raster electron microscopy (REM).